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日本CKD半導體電動執行器滑塊型EKS-M 一、核心技術特性 超高速與高加速性能 采用交流伺服電機驅動，最快速度達 2500mm/s，加減速度 2G（為 CKD 傳統機型的 2 倍），可大幅縮短半導體晶圓在多工位間的傳輸時間（如曝光、蝕刻設備中的晶圓切換）。這一特性對提升產線整體效率至關重要，尤其適用于高產能需求的量產場景。
更新時間：2026-05-08
產品型號：EKS-04M
瀏覽量：377
日本CKD半導體電動執行器滑塊型EBS-M/G 一、產品定位與核心技術 GSSD2 系列采用與 CKD 氣動 SSD2 系列相同的本體結構，確保尺寸兼容性和機械剛性，同時搭載電動驅動系統，支持高精度定位與速度控制。其核心優勢包括： 氣動級剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動，實現與氣動執行器相當的抗側向負載能力，減少外部導軌依賴。
更新時間：2026-05-08產品型號：EBS-G瀏覽量：392
日本CKD半導體導向內置式活塞桿型EBR-M/G 一、產品定位與核心技術 GSSD2 系列采用與 CKD 氣動 SSD2 系列相同的本體結構，確保尺寸兼容性和機械剛性，同時搭載電動驅動系統，支持高精度定位與速度控制。其核心優勢包括： 氣動級剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動，實現與氣動執行器相當的抗側向負載能力，減少外部導軌依賴。
更新時間：2026-05-08產品型號：EBR-R瀏覽量：411
日本CKD半導體電動執行器活塞桿型GSSD2 一、產品定位與核心技術 GSSD2 系列采用與 CKD 氣動 SSD2 系列相同的本體結構，確保尺寸兼容性和機械剛性，同時搭載電動驅動系統，支持高精度定位與速度控制。其核心優勢包括： 氣動級剛性：通過金屬本體與滾珠絲桿傳動，實現與氣動執行器相當的抗側向負載能力，減少外部導軌依賴。
更新時間：2026-05-08產品型號：DSSD2-50瀏覽量：337
日本CKD喜開理半導體電動執行器滑塊型EJSG 一、核心技術與設計理念 EJSG 系列是 CKD 專為半導體制造、精密電子等高潔凈環境開發的滾珠絲桿驅動型電動執行器，通過全密封結構 + 吸氣口設計，將發塵量降低至行業水平，滿足 ISO 4 級（10 級）潔凈室標準。其外導軌式高剛性本體結合無電池絕對編碼器，在保證 ±0.01mm 重復定位精度的同時，實現最長 1100mm 行程和 850mm/s
更新時間：2026-05-08產品型號：EJSG-G瀏覽量：479日本CKD喜開理半導體電動執行器滑塊型ECV 一、核心技術與設計理念 ECV 系列是 CKD 專為潔凈環境與長行程搬運需求開發的低發塵皮帶驅動型電動執行器，基于 ETV 系列技術升級，通過全防護罩結構 + 吸氣端口設計，將發塵量降低至 ISO 4 級（10 級）潔凈標準，尤其適合半導體、食品醫藥等高潔凈領域。其雙線性導軌 + 同步皮帶傳動結構，在保證剛性的同時實現最高 2000mm/s 的線性。
更新時間：2026-05-08產品型號：ECV-05瀏覽量：379
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